学思想 强党性 重实践 建新功丨打赢四大攻坚战·微电子院高精度压力传感器产品填补国内空白

按照党中央统一部署，当前，全集团上下正在扎实开展学习贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想主题教育，坚持学思想、强党性、重实践、建新功，把学习成效转化为履行好强军首责、推动高质量发展的生动实践，以实效实绩检验学习成果。

近日，中国兵器工业集团微电子院依托自有MEMS工艺平台，基于SOI体/表面MEMS融合工艺，突破了小型化高精度谐振式压力传感器关键技术，研制出全国产化自主可控的高精度压力传感器——CYXZ-1000系列谐振式压力传感器。

高精度压力传感器（精度等级优于0.02%FS）主要应用于精密测量和控制领域，其典型应用是气象观测及工业自动化控制、环境探测、压力设备校准等领域，在此之前，国内高精度压力传感器需求严重依赖进口。

微电子院突破关键技术，研制的CYXZ-1000系列谐振式压力传感器，其敏感芯片采用世界前沿的TERPS（沟槽蚀刻谐振压力传感器）技术设计研制而成，产品具有体积小、重量轻、低迟滞误差、重复性好、稳定性高、使用寿命长等特点，技术达到国际先进水平，填补国内空白。

来源/微电子院